6가지 개별적 SEMI 표준

E40(공정 관리)은 공정 작업을 명시하고 한 개 캐리어 내 여러 기판에 대해 복수의 상이 공정을 규정할 수 있습니다.
E94(관리 업무 관리)는 관리 업무를 명시하고 공정 작업 순서 규정 방법을 정의합니다. 관리 업무는 전체 캐리어를 대상으로 규정되며, 캐리어 도착 시 자동 시동이 가능합니다.
E90(기판 트래킹)은 기판과 기판을 고정할 수 있는 위치 모두의 추적 방법을 규정합니다.
E84(보다 강화된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스)는 물리적 AMHS(자동 재료 처리 시스템)에서 물리적 생산 또는 측정 장비로의 이송까지 통신을 규정합니다. E84 구현은 핸드쉐이크 프로토콜로, AMHS 차량(AGV, OHT, PGV, RGV)과 장비간 캐리어의 안전한 이송을 보장합니다.
E87(캐리어 관리)은 장비에 차후 캐리어 인도 사항을 통보하고, 로드 포트를 확보하며, 캐리어 ID 및 슬롯 맵을 인식 및 검증하며 캐리어를 인도 장소로 이동하기 위한 양식 및 통신 조건을 규정합니다.
E39(객체 서비스 표준)는 전체 표준에 대한 객체 기반 인터페이스를 명시하여 장비의 결함 감지를 위한 모니터 기능 및 처리 변수의 변경을 위한 방법을 제공합니다.