6가지 개별적 SEMI 표준
- E40(공정 관리)은 공정 작업을 명시하고 한 개 캐리어 내 여러 기판에 대해 복수의 상이 공정을 규정할 수 있습니다.
- E94(관리 업무 관리)는 관리 업무를 명시하고 공정 작업 순서 규정 방법을 정의합니다. 관리 업무는 전체 캐리어를 대상으로 규정되며, 캐리어 도착 시 자동 시동이 가능합니다.
- E90(기판 트래킹)은 기판과 기판을 고정할 수 있는 위치 모두의 추적 방법을 규정합니다.
- E84(보다 강화된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스)는 물리적 AMHS(자동 재료 처리 시스템)에서 물리적 생산
또는 측정 장비로의 이송까지 통신을 규정합니다. E84 구현은 핸드쉐이크 프로토콜로, AMHS 차량(AGV, OHT, PGV,
RGV)과 장비간 캐리어의 안전한 이송을 보장합니다.
- E87(캐리어 관리)은 장비에 차후 캐리어 인도 사항을 통보하고, 로드 포트를 확보하며, 캐리어 ID 및 슬롯 맵을 인식 및 검증하며 캐리어를 인도 장소로 이동하기 위한 양식 및 통신 조건을 규정합니다.
- E39(객체 서비스 표준)는 전체 표준에 대한 객체 기반 인터페이스를 명시하여 장비의 결함 감지를 위한 모니터 기능 및 처리 변수의 변경을 위한 방법을 제공합니다.
Posted by 세모아
